質譜作為一種定量檢測分析手段，在檢測靈敏度、特異性、分析速度和多指標同時檢測等方面具有很強的優勢。在線質譜儀配有溫度和壓力傳感器，可以測量標準條件下的體積流量和質量流量，從而顯示氣體的標準條件體積流量。在線質譜儀的故障現象、產生故障的可能原因及排除方法基本如下：
1、故障現象：調諧參數改變時,調諧峰強度的變化滯后
產生故障的可能原因及排除方法：
a.離子源被污染，排除方法是對離子源依次用甲醇、丙酮超聲清洗各15min；
b.預四級桿被污染，排除方法是對預四級桿依次用甲醇、丙酮超聲清洗各15min；
c.離子源部件未安裝到位，電路未接通，排除方法是將離子源拆下，重新安裝。
2、故障現象：調諧質譜儀時，需要過高的離子能量和推斥電壓
產生故障的可能原因及排除方法：
a.高離子能量過高是由于離子源被污染，推斥電壓過高是預四級桿、四級桿被污染，排除方法是對離子源、預四級桿、四級桿依次用甲醇、丙酮超聲清洗各15min及保養維護；
b.質譜儀調諧未達到最佳狀態，排除方法是重新調諧質譜儀。
3、故障現象：調諧參數改變時，儀器響應不明顯
產生故障的可能原因及排除方法：
離子源短路或電路未接通，排除方法是取出離子源,用萬用表測量各部件間的電路連接是否正常。
4、故障現象：調諧峰的形狀不好，有肩峰
產生故障的可能原因及排除方法：
a.質譜儀調諧未達到最佳狀態，排除方法是重新調諧質譜儀；
b.離子源被污染，排除方法是對離子源依次用甲醇、丙酮超聲清洗各15min；
c.分析器有缺陷或損壞，排除方法是檢查分析器外觀是否有缺陷或損壞。
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