二次離子質(zhì)譜儀可以用于分析的樣品可以固體，也可以是粉末、纖維、塊狀、片狀、甚至液體(微流控裝置)。如果從導(dǎo)電性考慮，這些樣品可以是導(dǎo)電性好的材料，也可以是絕緣體或者半導(dǎo)體。從化學(xué)組成上來(lái)分，可以是有機(jī)樣品，如高分子材料、生物分子，也可以是無(wú)機(jī)樣品，如鋼鐵、玻璃、礦石等。
 

　　二次離子質(zhì)譜儀的常見(jiàn)的操作模式：
 

　　SIMS大致可以分為"動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜"(D-SIMS)"和"靜態(tài)二次離子質(zhì)譜"(S-SIMS)兩大類(lèi)。雖然工作原理上它們并無(wú)本質(zhì)差別，但是兩種模式的應(yīng)用特點(diǎn)卻有所不同。一次離子束流密度大小是劃分兩種模式的主要標(biāo)準(zhǔn)。一般在S-SIMS模式下，一次離子束流被控制在10離子/cm，常用飛行時(shí)間質(zhì)量分析器，動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜就是一次離子束流高于10離子/cm，常用雙聚焦質(zhì)量分析器。
 

　　SIMS操作模式可以分為質(zhì)譜表面譜、成像模式、深度剖析等。 其中質(zhì)譜模式質(zhì)量分辨率較高，常用于鑒別各種材料中所含有的元素、材料中的摻雜、污染物中的成分等。二次離子質(zhì)譜成像是指二次離子在二維平面上的強(qiáng)度分布，可以直觀的顯示成分的分布，獲得元素離子、分子碎片或分子離子的形貌。深度剖析是指交替式地對(duì)分析樣品表面濺射剝離和對(duì)濺射區(qū)域采集圖譜，從深度剖析結(jié)果中可以得到不同成分沿深度方向的分布，可以得到樣品深層或內(nèi)部化學(xué)成分的三維圖像，可以進(jìn)行對(duì)材料或者生物組織微區(qū)成分分析。