薄膜導熱測試儀是一種專門用于測量薄膜材料導熱性能的儀器，它能夠準確測量薄膜材料的導熱系數、熱擴散系數等關鍵參數，這些參數對于評估薄膜材料的熱傳導性能非常重要。
 

　　薄膜導熱測試儀的工作原理因測試方法的不同而有所差異。常見的測試方法包括激光閃射法、熱流法和熱反射法(頻域熱反射法或瞬態熱線源法)。
 

　　1、激光閃射法
 

　　該方法利用激光二極管發出激光光源，聚焦的光束穿過三維檢腔，當光在行進中遇到微小顆粒時會發生散射。通過測量散射光的光通量，可以間接得到薄膜材料的導熱性能。
 

　　2、熱流法
 

　　該方法基于溫差和熱流量之間的對應關系進行傳熱系數的測定。
 

　　3、熱反射法(瞬態熱線源法)
 

　　該方法使用一根金屬線作為熱線源，同時充當加熱元件和溫度傳感器。測試時，通過熱線源施加一個短暫的電流脈沖使其產生熱量，熱量從熱線源沿著樣品傳播導致熱線源冷卻。冷卻速率取決于周圍材料的熱導率，通過分析熱線源的冷卻曲線并利用適當的數學模型(如一維徑向熱流模型)，可以確定未知樣品的熱導率。
 

　　C-Therm Trident薄膜導熱測試儀的Flex TPS瞬態平面熱源法傳感器，可按照ISO 22007-2標準，用于表征薄膜材料的熱傳遞性質。Flex TPS專門的薄膜模塊，可測量厚度為20um ~ 1 mm樣品的導熱系數和熱擴散系數。并且Trident主機，除TPS方法外，還可與MTPS和TLS傳感器連用，測試更多不同類型的材料。